石墨盒的預(yù)熱和預(yù)處理方法
一、預(yù)熱
1、烘干之后的石墨盒由生產(chǎn)、工藝、設(shè)備進行檢查,如果發(fā)現(xiàn)沒有損壞,接著一起將石墨盒進行預(yù)熱。
2、把需要預(yù)熱的舟放到空閑的爐管,接著用手把真空泵的閥門打開,這個爐管是不進行工藝的。
3、溫馨提示:預(yù)熱時石墨盒內(nèi)不放硅片。
二、預(yù)處理(飽和)
1、把空的再次檢查石墨盒,確保其完好,然后把它放進爐管開始進行預(yù)處理,其他的流程和正常的生產(chǎn)工藝沒有差別。
2、需要留意的是在“淀積”時,工藝需要一個小時,接著再進行其他的步驟。
3、工藝完成后,經(jīng)工藝人員確認(rèn)后,這個石墨舟就可以投入其他生產(chǎn)中了。
4、建議預(yù)處理(飽和)正常時間在200-240分鐘。
5、為了更好地延長石墨盒的使用壽命,建議不在空舟狀態(tài)下進行預(yù)處理,最好裝上假片或廢片。